Litografia por feixe de elétrons

Litografia por feixe de elétrons (frequentemente abreviada na literatura em língua inglesa como e-beam lithography) é a prática de varrer com um feixe de elétrons em um padrão através de uma superfície coberta com um filme (chamado nesta área de atividade resiste), ("expondo" o resiste) e de remover seletivamente ou regiões expostas ou não expostas do resiste ("desenvolvimento").

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Elétron

O (do grego ήλεκτρον, élektron, "âmbar") é uma partícula subatômica, de símbolo ou, com carga elétrica negativa.

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Fabricação de dispositivos semicondutores

Fabricação de dispositivos semicondutores é o processo utilizado para criar os circuitos integrados que estão presentes em todos os dispositivos eletrônicos.

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Hexaboreto de lantânio

Um cátodo quente de hexaboreto de lantânio. Imagem cortesia de http://www.kimballphysics.com/cathode/cath_prod.htm Kimball Physics, Inc. Cátodos de hexaboreto de lantânio. Imagem cortesia de http://www.a-p-tech.com/ Applied Physics Technologies Hexaboreto de lantânio (LaB6, também chamado boreto de lantânio e LaB) é um composto químico inorgânico, um boreto do lantânio.

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Litografia por nanoimpressão

A litografia por nanoimpressão (ou NIL, do termo em inglês nanoimprint lithography) é um método de fabricação de padrões em escala nanométrica.

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Ponto quântico

Ponto quântico, comumente abreviado por QD, do inglês quantum dot, são partículas de semicondutores extremamente pequenas, cujas dimensões não ultrapassam alguns nanometros de diâmetro.

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SQUID

SQUID, do inglês Superconducting Quantum Interference Device, é um sensor de fluxo magnético bastante sensível, que combina dois fenômenos físicos: a quantização de fluxo em um anel supercondutor e o efeito Josephson.

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