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Litografia por feixe de elétrons

Índice Litografia por feixe de elétrons

Litografia por feixe de elétrons (frequentemente abreviada na literatura em língua inglesa como e-beam lithography) é a prática de varrer com um feixe de elétrons em um padrão através de uma superfície coberta com um filme (chamado nesta área de atividade resiste), ("expondo" o resiste) e de remover seletivamente ou regiões expostas ou não expostas do resiste ("desenvolvimento").

5 relações: Circuito integrado, Elétron, Fotolitografia, Língua inglesa, Nanotecnologia.

Circuito integrado

encapsulamento removido. Fotografia da arquitetura interna de um microprocessador de imagens de ressonância magnética aumentada 600 vezes, sob luz ultravioleta, para se enxergarem os detalhes. Em eletrônica, um circuito integrado (CI), chipe, microchipe ou nanochipe (do inglês chip, microchip e nanochip, respectivamente), é um circuito eletrônico miniaturizado (composto principalmente por dispositivos semicondutores) sobre um substrato fino de material semicondutor.

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Elétron

O (do grego ήλεκτρον, élektron, "âmbar") é uma partícula subatômica, de símbolo ou, com carga elétrica negativa.

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Fotolitografia

Parte do ''wafertrack'' usado para ser iluminada com luz de 365 nm (ultravioleta). Fotolitografia é uma técnica utilizada na confecção de circuitos integrados.

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Língua inglesa

Inglês (English) é uma língua indo-europeia germânica ocidental que surgiu nos reinos anglo-saxônicos da Inglaterra e se espalhou para o que viria a tornar-se o sudeste da Escócia, sob a influência do reino anglo medieval da Nortúmbria.

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Nanotecnologia

Imagem de um circuito integrado ampliada 2400 vezes A nanotecnologia é uma ciência que se dedica ao estudo da manipulação da matéria numa escala atómica e molecular lidando com estruturas entre 1 e nanômetros.

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